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技術(shù)文章/ article
NANO-MASTERNLD-4000型等離子增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)可以提供高品質(zhì)的薄膜沉積，通過(guò)配套ICP離子源系統(tǒng)可以支持PEALD和T-ALD等廣泛應(yīng)用。眾多的優(yōu)勢(shì)配置，使得NLD-4000型系統(tǒng)具有許多優(yōu)勢(shì)：√超高的薄膜均勻性√良好的粘附力√超凈的沉積（高真空支持）√出色的工藝控制√高度的可重復(fù)性（計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制）√易使用（可直接調(diào)用編好的工藝程序）√運(yùn)行可靠（所有核心組件均帶有保護(hù)）√低維護(hù)（完整的安全互鎖）√高、低溫基片樣品臺(tái)√小的占地面積26”x44”√全自動(dòng)...
隨著光學(xué)鍍膜設(shè)備的技能開(kāi)展不斷改造，而硬質(zhì)薄膜的設(shè)計(jì)向著多元化、多層膜的方向開(kāi)展。變成現(xiàn)在公司選擇的鍍膜技能。今天咱們經(jīng)過(guò)專(zhuān)家剖析后，給予具體作答。鍍膜機(jī)的正常操作辦法應(yīng)當(dāng)參閱操作手冊(cè)的指示操作。不過(guò)大致的操作程序，咱們簡(jiǎn)略的說(shuō)一下吧：1.查看光學(xué)鍍膜設(shè)備各操作操控開(kāi)關(guān)是不是在"關(guān)"位置。2.翻開(kāi)總電源開(kāi)關(guān)，光學(xué)鍍膜設(shè)備送電。3.低壓閥拉出。開(kāi)充氣閥，聽(tīng)不到氣流聲后，發(fā)動(dòng)升鐘罩閥，鐘罩升起。4.裝置固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在滾動(dòng)圓盤(pán)上。把鋁絲穿放在螺旋加熱...
隨著原子層沉積技術(shù)與其他先進(jìn)技術(shù)不斷融合以及人們對(duì)原子層沉積設(shè)備的不斷改進(jìn)，諸如“等離子體增強(qiáng)原子層沉積技術(shù)”、“空間式原子層沉積技術(shù)”、“流化床原子層沉積技術(shù)”等新型原子層沉積技術(shù)逐漸出現(xiàn)并在一定程度上有效解決了傳統(tǒng)熱原子層沉積技術(shù)所面臨的諸多難題。在過(guò)去二十多年，等離子體增強(qiáng)原子層沉積技術(shù)發(fā)展迅速。通過(guò)巧妙設(shè)計(jì)等離子體引入方式，人們已經(jīng)設(shè)計(jì)出各種等離子體增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備。從文獻(xiàn)報(bào)道來(lái)看，針對(duì)太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域的應(yīng)用，一套成熟的空間式原子層沉積設(shè)備需保證每小時(shí)超過(guò)3000片1...
我們大部分人都知道等離子有清洗活化的功能，今天我們來(lái)探討下等離子去膠機(jī)。等離子去膠機(jī)反應(yīng)機(jī)理：在干法等離子去膠技術(shù)中，氧是首要腐蝕氣體。它在真空等離子去膠機(jī)反響室中受高頻及微波能量效果，電離發(fā)生氧離子、游離態(tài)氧原子O*、氧分子和電子等混合的等離子體.等離子去膠操作方法：將待去膠片插入石英舟并平行氣流方向，推入真空室兩電極間，抽真空到1.3Pa，通入恰當(dāng)氧氣，堅(jiān)持真空室壓力在1.3-13Pa，加高頻功率，在電極間發(fā)生淡紫色輝光放電，經(jīng)過(guò)調(diào)理功率、流量等技術(shù)參數(shù)，可得不一樣去膠速...
微波等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場(chǎng)合。通過(guò)其處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污潮物、油污或油脂。今天，我們來(lái)看看微波等離子清洗機(jī)操作注意事項(xiàng)與應(yīng)用吧。1、正確設(shè)置等離子設(shè)備的運(yùn)行參數(shù)，按時(shí)設(shè)備使用說(shuō)明書(shū)來(lái)執(zhí)行。2、保護(hù)好等離子體的點(diǎn)火裝置，以確保等離子清洗機(jī)可以正常的啟動(dòng)。3、等離子設(shè)備在啟動(dòng)前的準(zhǔn)備工作，要對(duì)相關(guān)的人員進(jìn)行培訓(xùn)，按照要求嚴(yán)格執(zhí)行各項(xiàng)操作...
我們的優(yōu)勢(shì)｜NRE-4000型RIE-HCP系統(tǒng)NANO-MASTERNRE-4000型RIE-HCP系統(tǒng)，用于高速刻蝕硅、SiO2和Si3N4基片，通過(guò)配套HCP高密度中空陰極等離子源，系統(tǒng)可以支持RIE和RIE-HCP應(yīng)用，提供廣泛的應(yīng)用。眾多的優(yōu)勢(shì)配置，使得NRE-4000型系統(tǒng)具有許多優(yōu)勢(shì)：?超高的薄膜均勻性?良好的粘附力?超凈的沉積（高真空支持）?出色的工藝控制?高度的可重復(fù)性（計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制）?易使用（可直接調(diào)用編好的工藝程序）?運(yùn)行可靠（所有核心組件均帶有...
試驗(yàn)真空環(huán)境模擬為了考核和研究某些活動(dòng)部件、伸展機(jī)構(gòu)的干摩擦、冷焊性能和研究材料在真空條件下的升華、重量損失、老化等效應(yīng)，需要在更高的真空度和其他空間環(huán)境因素的組合下進(jìn)行試驗(yàn)。大家都知道現(xiàn)在真空系統(tǒng)在各個(gè)行業(yè)的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，下面我們?yōu)榇蠹医榻B一下現(xiàn)在常用的熱真空系統(tǒng)在熱真空試驗(yàn)設(shè)備中的應(yīng)用吧。熱真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的制造工藝過(guò)程，是集成電路設(shè)備中的關(guān)鍵設(shè)備之一；它也用于各種其它鍍膜設(shè)備和真空應(yīng)用設(shè)備中。真空系統(tǒng)在熱真空系統(tǒng)中的應(yīng)用熱真空系統(tǒng)是指在真空和一...
兆聲清洗機(jī)不僅保留了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn)，而且克服了超聲波清洗的缺點(diǎn)。兆聲無(wú)損清洗機(jī)的工作原理是利用高能（850kHz）頻率效應(yīng)和化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對(duì)硅片進(jìn)行清洗。在清洗過(guò)程中，換能器發(fā)出的高能聲波波長(zhǎng)為1m，頻率為0.8MHZ。在聲波的驅(qū)動(dòng)下，溶液的分子運(yùn)動(dòng)得更快。瞬時(shí)速度可達(dá)30cm/s。因此，無(wú)法形成超聲清洗等氣泡。相反，兆聲清洗機(jī)只能用高速的流體波不斷地沖擊晶圓片表面，迫使附著在晶圓片表面的微小污染物顆粒被去除并進(jìn)入清洗溶液中。經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，人們的生活水平不斷提高，對(duì)消費(fèi)...
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